Échelle Nanogps de 25 mmx25 mm pour la microscopie électronique à balayage (SEM) + 1 Licence de logiciel Oxyo.
Référence: Oxyo-si2.5-e10-seme
Détection de position avec nanogps oxyo
Le substrat de Si conducteur et les modèles Au / Cr fournissent un excellent contraste lorsqu'ils sont observés sur un SEM. Ces échelles permettent la détermination de la précision des étapes SEM, de la reproductibilité, de la rectitude, de l'orthogonalité, avec une précision non précédente [3]. Ils ouvrent le chemin aux procédures d'étalonnage entièrement automatisées des étapes SEM.
Plus d'informations sur les performances et les exigences.
