Cellule scellée pour la caractérisation des films minces dans des conditions ambiantes non aim
La cellule scellée a été conçue pour la caractérisation ellipsométrique des matériaux qui sont soit sensibles à l'air ou à l'humidité, soit pour que les expériences étudient l'effet des vapeurs / gaz sur les couches de matériaux.
La cellule fournit un environnement complètement scellé empêchant la pénétration de l'air pendant la mesure. Un système d'écoulement est intégré à la conception pour permettre l'introduction de gaz ou de vapeurs dans la cellule. L'échantillon est placé dans la cellule et le faisceau lumineux de l'ellipsomètre passe à travers les deux fenêtres de silice UV fusionnées montées à 60 ° de chaque côté de la cellule. Une fenêtre supérieure permet l'alignement des échantillons.
La cellule est fabriquée à partir de PTFE et tous les composants de la cellule peuvent être facilement éliminés et nettoyés.
La cellule est conçue pour monter des échantillons allant jusqu'à 50 mm x 50 mm, et permet la traduction jusqu'à 10 mm x 10 mm à des fins de cartographie lorsque l'échantillon est placé à l'intérieur.
Compatibilité:
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