Stage motorisé XY pour la cartographie d'uniformité à couches minces
L'étape motorisée XY fournit un mouvement de scène automatisé pour la cartographie des échantillons. Des fonctionnalités supplémentaires telles que la surveillance de la caméra CCD combinée à l'optique de microspot intégrée fournissent la solution idéale pour une caractérisation précise des plaquettes à motifs.
En option pour uvisel plus
Compatibilité:
Si vous souhaitez plus d'informations sur l'ellispométrie spectroscopique, veuillez visiter notre site Web surEllipsométrie spectroscopique - Horiba et surOptions et accessoires d'ellipsomètre spectroscopique - Horiba.
